气相沉积技术在难熔金属材料中的应用

中国科技纵横杂志|何丽鑫 张平 沈阳招标中心 辽宁沈阳110002 沈阳建设项目招投标中心 辽宁沈阳110014

摘要:对难熔金属的制备技术经过了几十年的发展历程,从粉末冶金到真空熔炼技术再到气相沉积技术(简称CVD)的应用,标志着我国对难熔金属的制备技术的不断进步和革新。难熔金属普遍具有硬度高、熔点高等特点,相对于普遍金属材料来说制备难度大,技术标准要求高。本文在对化学气相沉积技术概述的基础上,探讨在难熔金属材料制备加工领域中对气相沉积技术的应用。

【关键词】
  • 气相沉积技术
  • cvd
  • 难熔金属
  • 制备
【收 录】
  • 万方收录(中)

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期刊名称:中国科技纵横

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